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第二百九十四章 一封清单（第2页）

“有了刘老板你提供的光刻机样机和详细图纸，我们的研发进度还是非常快的。

光刻机十大部件，分别是工作台、激光器、光束矫正器、能量控制器、光束形状调整器、遮光器、能量探测器、掩膜台、物镜、封闭框架减震器。

其中的工作台、激光器、遮光器、掩膜台、封闭框架减震器五个部件已经制作完成，且通过了验收。

剩余的五个部件，也正在研发的过程中，相信再有三四个月，就能制作出测试样机，半年到一年之后，就能正式量产。”

听到量产还需要至少半年的时间，刘焱不由皱了皱眉头，问道：

“尚未完成的五个部件，是碰到了什么难以解决的难题了吗，怎么需要这么长的时间？”

廉安平教授无奈的摊摊手，说道：

“问题是有，难题算不上。刘老板看过图纸，应该知道，光刻机内部需要很多的玻璃透镜，对加工精度的要求非常高，达到了百纳米级。

按照欧米或东瀛的加工方式，这些透镜需要使用四轴以上的数控加工中心，或专用的数控磨床加工出来。

可是咱们国内，数控机床都没几台，更别说这种高精度数控加工中心或数控磨床了。

为了制作这些玻璃透镜，我们从凤凰光学公司找来两位八级钳工老师傅，他们能凭借丰富的经验，手工打磨出符合要求的透镜，只是需要的时间比较长。”

刘焱沉思一会儿，说道：

“只靠人工磨制透镜，也不是办法，效率实在太低了。加工这种玻璃透镜，需要什么型号的数控加工中心，五轴的够不够，加工精度需要达到多少？”

廉安平教授有些疑惑的看向刘焱，问道：

“刘老板问这个干什么，难道你能买来高精度五轴加工中心？如果真有那种机械加工神器，制作玻璃透镜，还不是分分钟的事情。只是五轴加工中心的售价非常昂贵，西方管制的也严格，很难搞到国内来。”

刘焱点点头，说道：

“我有一些门路，应该能买到符合要求的数控加工中心，廉教授只要把相关设备的型号告诉我就可以。”

廉安平双眼一亮，面露狂喜之色，说道：

“真的，那可太好了！我这就把机床型号写给你，这十几种数控机床，买到任何一台都能解决透镜加工问题。如果能买到最后这两种五轴数控加工中心中的任意一台，我有把握，在一年之内，将光刻机的加工精度，推进到0.55微米。”

说着，廉安平教授拿出一张白纸，在上面一口气写下十几个机床品牌和型号，然后在最后两个型号的机床上画了一个圈。

刘焱从廉平安教授手里接过白纸，看了一下上面被圈起来的两个机床品牌，一个是D国的D马吉，一个是东瀛的M扎克。这两个在后世大名顶顶的机床品牌，在八十年代初，就已经初露峥嵘了。

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